净化无尘车间送风量如何计算（漏风量计算）

相对来说风淋室及传递箱的泄漏量较小（密闭良好的情况下），可忽略不计。

4 工艺排风泄漏风量

工艺排风泄漏风量即为工艺排风量。

以上四种泄漏风量之和即为房间维持正压所需的送风量。

例，无尘室车间要求正压为20Pa，无尘车间体积为100m3，无尘车间是有外窗、密闭性较好的无尘车间（表中第二列），那么此无尘车间维持正压所需的送风量V=换气次数2.5*100m3=250m3(不包括工艺排风)

1、新风补充量不足：重新计算新风需求量

2、泄漏量过大：找出泄漏原因，寻出解决方案

3、排风量太大：主要是工艺排风量超标，重新计算

4、空调回风量太大：重新调节风量

合理的正压值对无尘车间各项指标的达标及降低运行成本是非常重要的。

半导体厂工程设备用电约占全厂用电的49％，冷动机用电占工程设备用电的35％，无尘车间空气处理机组用电占工程设备用电的23％。无尘车间正压设定值越大，空气处理机组送风量越大，冷动机负荷越高，降低电力的耗用，即减少资源的消耗与污染源的制造。所以基于以上分析可知无尘车间内的正压设定直接关系到厂区运行成本。