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无尘实验室是怎样排除微粒子污染的

来源:http://www.tjsikaen.com/news847309.html发布时间:2019/5/24 0:00:00

无尘实验室是怎样排除微粒子污染的

      在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。针对排气的对策如下:由于导入同量的外气是必要的,但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是绝对理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时,不仅仅是向无尘室外排气,而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。

      为了防止由静电吸附而引起的微粒附着,通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电,则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料,并藉由除电装置进行除电。

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